大位移多折叠梁静电驱动器的设计及力学性能分析

摘要：

针对现有微静电梳状谐振器用作驱动器时输出位移极小的弱点,提出一种结构新颖、输出位移大、能工作于谐振状态和静电力状态下的多折叠梁微静电驱动器设计方案.建立该驱动器的力学分析模型,给出位移、弹性系数和谐振频率的解析公式.研究表明,当特征尺寸相同时,与常用的直脚型和蟹脚型谐振器相比,在相同电压下其输出位移可提高7倍～14倍,而在相同最大应力条件下其位移输出能力可提高4倍～9倍.

关键词：微机电系统、微静电驱动器、大位移输出、结构设计

所属期刊栏目：29

分类号：TP3(计算技术、计算机技术)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划G1999033109;上海市青年科技启明星计划03QF14019

在线出版日期：2007-04-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：5-11