MEMS可靠性与失效分析

摘要：

主要探讨目前微电子机械系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)中采用的分别以费用和以失效分析/质量保证为主的两种可靠性分析方法,并介绍其他相关的分析方法;对国内外广泛运用的众多失效分析基本单元结构进行详细分析;叙述MEMS中各种不同的失效模式、失效机理、失效分析应用范围及采取的相应措施;并就MEMS可能出现的失效模式提出相关的微分析技术,为MEMS提供可靠性保障,有利于MEMS的可靠性设计.

关键词：微电子机械系统、失效模式、可靠性、失效分析

所属期刊栏目：27

分类号：TB114.3;TP202(工程基础科学)

资助基金：国家杰出青年科学基金10325209

在线出版日期：2006-01-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：855-859