多晶硅微机械构件损伤的表面效应

摘要：

利用电磁力驱动微拉伸装置,考察多晶硅微构件表面粗糙度和施加表面分子自组装膜(octadecyltrichlorosilane,简称OTS)对抗拉强度及断裂损伤的影响.结果表明,微构件的抗拉强度表现出依赖表面性质的表面效应.抗拉强度随表面粗糙度的增加而降低,并受环境气氛的影响.当构件表面施加表面分子自组装膜后,在以上两因素的作用下,多晶硅微构件的抗拉强度提高了32.46%.研究结果可用于微机械构件的材料表面改性设计.

关键词：微型机械、多晶硅、抗拉强度、表面粗糙度、表面分子自组装膜

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分类号：TH11

资助基金：江苏省自然科学基金BK2002147;教育部优秀青年教师资助计划;教育部留学基金;全国高等学校优秀博士学位论文作者专项基金200330;国家重点基础研究发展计划973计划2004CB619305;教育部新世纪优秀人才支持计划

在线出版日期：2005-05-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：211-216