微机械氮化硅梁谐振式压力传感器

摘要：

报导一种新型的电热激励、压阻拾振的氮化硅梁谐振式压力传感器.器件采用微电子机械加工技术和键合技术研制.谐振频率85 kHz,空气中品质因素Q值接近1 000,在真空中达到40 000.采用闭环自激振荡方式测定压力传感器的压力特性,压力测试范围0～400 kPa,灵敏度23.8 Hz/kPa.

关键词：微电子机械加工技术、氮化硅梁、谐振式压力传感器

所属期刊栏目：23

分类号：TP21(自动化技术及设备)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：543-547