硅各向异性腐蚀三维计算机模拟系统的建立

摘要：

文中的工作属于MEMS计算机辅助设计(CAD)中的一部分内容.介绍了如何建立硅各向异性腐蚀三维计算机模拟系统,给出这个工艺模拟系统的结构框图,并就已给出框图中几个重要的方面进行了叙述.在这个框图的基础上,用C语言编写出了相应的模拟硅各向异性腐蚀工艺的软件,并给出软件的界面和演示结果.结果表明硅各向异性腐蚀三维计算机模拟系统建立的合理性.

关键词：微电子机械系统、各向异性腐蚀、计算机模拟

所属期刊栏目：23

分类号：TP39(计算技术、计算机技术)

资助基金：教育部科学技术基金00065

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：484-487