10.3321/j.issn:1001-9669.2001.04.019
硅各向异性腐蚀三维计算机模拟系统的建立
文中的工作属于MEMS计算机辅助设计(CAD)中的一部分内容.介绍了如何建立硅各向异性腐蚀三维计算机模拟系统,给出这个工艺模拟系统的结构框图,并就已给出框图中几个重要的方面进行了叙述.在这个框图的基础上,用C语言编写出了相应的模拟硅各向异性腐蚀工艺的软件,并给出软件的界面和演示结果.结果表明硅各向异性腐蚀三维计算机模拟系统建立的合理性.
微电子机械系统、各向异性腐蚀、计算机模拟
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TP39(计算技术、计算机技术)
教育部科学技术基金00065
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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