基于BioMEMS技术的DNA芯片研究

摘要：

近年来基于微电子机械系统(MEMS)技术研究和开发的一个新领域就是BioMEMS,特别是对生物芯片和生物化学微分析系统的研究.文中叙述了基于BioMEMS技术的DNA芯片研究,介绍了几种不同结构的DNA芯片,以及DNA-PCR扩增器芯片、DNA-CE毛细管电泳芯片、微流动控制器件和实验室芯片(Lab on a Chip)等.还报告了作者们成功采用MEMS技术,研制成集成化微结构型PCR-DNA扩增芯片,芯片上包括有加热器、温度传感器、2μL容积的反应池以及输入输出通道;能实现快速扩增,最快加热速度为15 ℃/s,降温速度为10℃/s.研制成Si-玻璃,玻璃-玻璃和玻璃-PDMS三种结构的毛细管电泳芯片,沟道宽200 μm,深200μm.研制成一种表面等离子体谐振(SPR)生化分析系统,其入射光扫描角范围从40°到70°,分辨率0.1%度,可测折射率范围1.04～1.47.

关键词：DNA芯片、微电子机械系统(MEMS)、生物微电子机械系统(Bio MEMS)、实验室芯片(Lab on a Chip)、微全分析系统(μTAS)

所属期刊栏目：23

分类号：TN4(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：国家自然科学基金

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：471-475