微型材料的拉伸测试方法研究

摘要：

微电子机械系统技术的迅速崛起,推动了微型材料拉伸测试方法的发展.文中列举几种典型的微型材料拉伸实验方法,具体说明其驱动方式、力和位移测试原理,并介绍实验中的难点,如试样加工、夹持和对中等方法.并进一步分析能满足未来发展需求的拉伸测试原理.

关键词：微电子机械系统、微型材料、拉伸

所属期刊栏目：23

分类号：TB3(工程材料学)

资助基金：国家自然科学基金10102021,10172086;香港科技大学校科研和教改项目

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：430-436