镀有石墨烯层微热压模具电热耦合作用数值仿真

摘要：

提出一种提高微热压模具加热冷却速率、缩短微热压成型循环周期的方法.在硅片表面使用化学气相沉积CVD的方法制备石墨烯层,利用石墨烯层高电导率、热导率等特性,研究石墨烯层电热耦合作用对模具温度的影响规律.模拟结果表明,硅模具施加电势增加或石墨烯层厚增加,硅片表面平均温度的升高速率增大;当石墨烯层厚为40 nm、施加电压为150 V时,硅片表面由室温升温加热速率可以达到9.87 K/s,模具温度稳定后,微结构处的温度略高于硅片表面其他位置.

关键词：微热压成型、石墨烯层、电热耦合作用

所属期刊栏目：37

分类号：TH162

在线出版日期：2018-02-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：120-124