薄膜涂层弹性模量的表征与评价研究

摘要：

因薄膜有其极小的厚度和特殊的微结构等特征,它与相同成分的块体材料相比,二者的弹性模量在数值大小、测试设备、表征方法和技术上都有一定的差异.给出了超声波测速法、弯曲法、鼓膜法和纳米压入法等六种适合于表征薄膜弹性模量的方法,研究了它们的原理和理论模型,分析和讨论了它们的特点和适用性,解释了用不同表征方法得出的弹性模量在数值上存在差异的原因.在实际测量中,应结合各表征方法和薄膜自身的特点加以灵活选用.

关键词：薄膜、弹性模量、表征方法

所属期刊栏目：26

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

资助基金：西南交通大学校科研和教改项目

在线出版日期：2007-06-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：552-557