压电驱动超精密加工微定位工作台的设计与研究

摘要：

设计开发了一种用于超精密加工的新型压电驱动微定位工作台(PBMPM-PZT Based Micro-positioning Platform for Machining).利用力学理论,对柔性铰链和平行铰链运动副进行建模,推导出其刚度理论计算公式.同时,用有限元方法分析了由柔性铰链构建的微定位工作台静、动态特性和振动特性.理论分析、有限元计算和实验结果的一致性说明了理论分析的正确性和数值分析的可靠性.

关键词：柔性铰链、压电陶瓷、微定位、有限元

所属期刊栏目：24

分类号：TP24(自动化技术及设备)

资助基金：上海市科技攻关项目041111007

在线出版日期：2005-10-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：1026-1028