基于纳秒激光的316L不锈钢直写微细沟槽实验研究

摘要：

针对在几十微米尺度下纳秒激光直写法制造微流道的问题,研究纳秒激光加工工艺参数与微流道宽度和深度的关系,利用光纤激光器在316L不锈钢上进行微流道直写实验研究,得到了激光功率、扫描速度、激光频率、激光重复次数与微流道尺寸形貌的关系.实验结果表明,当激光功率为16W,扫描速度200 mm/s,频率为40 kHz,脉冲宽度为30 ns时,实验结果最好,该参数为最佳激光工艺参数范围.同时,验证了小能量激光表面浅熔机理对沟槽底部抛光的可行性.

关键词：微通道、激光加工、纳秒激光、表面质量

所属期刊栏目：46

分类号：TG665

资助基金：国家自然科学基金资助项目500120068

在线出版日期：2017-06-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：41-47