10.3969/j.issn.1007-6905.2013.09.007
全自动智能化计算机控制系统在真空离子镀膜机中的应用
本文介绍一种全自动、智能化计算机控制系统在真空离子镀膜机设备中的应用,可实现对真空离子镀膜机设备中各设备(泵阀机组、真空计、多路气路系统、电弧电源系统、偏压电源系统、溅射电源系统等)的全自动控制,实现对各种工件镀膜过程的装炉、自动抽气、镀膜、充气以及卸载工件等过程.
镀膜机、真空离子镀膜、计算机系统
TN3;TG1
2013-10-28(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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