10.3969/j.issn.1007-6905.2009.11.015
硅基MEMS标准体系研究
本文介绍了硅基MEMS标准化国内外发展状况,阐述了硅基MEMS标准体系在我国硅基MEMS标准化工作的中的意义,并说明了我国硅基MEMS标准体系框架的构成以及未来的标准研究内容.
硅基MEMS、标准化、标准体系
TN9;S12
国家高技术研究发展计划项目编号2007AA04Z354
2010-01-22(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
49-51
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10.3969/j.issn.1007-6905.2009.11.015
硅基MEMS、标准化、标准体系
TN9;S12
国家高技术研究发展计划项目编号2007AA04Z354
2010-01-22(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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