10.3969/j.issn.1007-6905.2009.11.014
微几何量评定总则研究
本文介绍测量与评定对MEMS产业发展意义以及微几何量评定总则的作用,详细阐述了微几何量评定总则的六个主要组成部分:评定基本原则、评定要素、评定程序、测量、评定规则以及评定结论.
MEMS、微几何量、评定
TE6;P22
国家高技术研究发展计划基金项目项目编号2007AA04Z354
2010-01-22(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共2页
47-48
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10.3969/j.issn.1007-6905.2009.11.014
MEMS、微几何量、评定
TE6;P22
国家高技术研究发展计划基金项目项目编号2007AA04Z354
2010-01-22(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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