论文摘要
基于其优异的物理化学性质、良好的绝缘性以及高硬度高耐磨性，单晶石英广泛应用于光栅、纳米压印模板等高精密产品的基体材料。当前单晶石英的纳米加工技术面临着分辨率难以提升，过程复杂等技术瓶颈，而且石英表面加工损伤会显著影响石英器件的服役行为，因此，亟待研究提出高分辨率、简捷、低损伤的石英表面纳米加工方法。
石英器件、物理化学性质、纳米加工技术、高分辨率、低损伤、纳米压印、加工方法、技术瓶颈、基体材料、高耐磨性、单晶、表面纳米、表面加工、绝缘性、高硬度、高精密、应用、行为、提升、模板
TH1;TN4
2016-04-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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