逐步国产化的星弧高端PVD涂层设备

摘要：

@@ 物理气相沉积(PVD)是一种在真空状态下,通过气体放电或被蒸发物质部分离化,在基材表面附着一层异性材料的技术,该异性材料(涂层)因能显著改善基材的某些物理化学性能,被以高精度、高品质和低成本为特征的汽车、电子、精密加工及半导体等现代制造业广泛应用.

机标关键词：国产化、异性材料、物理气相沉积、物理化学性能、气体放电、精密加工、基材、制造业、高品质、高精度、分离化、半导体、状态、蒸发、真空、应用、物质、涂层、特征、汽车

分类号：TN8;O34

在线出版日期：2013-07-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：13-14