10.16525/j.cnki.cn14-1134/th.2022.02.119
基于PLC的真空离子镀膜机控制系统设计
真空离子磁控溅射镀膜是一种被广泛使用的镀膜工艺,具有工艺质量好、操作简便、控制灵活等优势.因此,探讨了基于PLC的真空离子磁控溅射镀膜机的控制系统结构和软硬件设计.该系统可实现真空离子磁控溅射镀膜机的逻辑控制和数据处理,以及自动化操作,提高镀膜工艺控制水平.
PLC;真空镀膜机;真空离子磁控溅射;离子镀膜
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TP273(自动化技术及设备)
2022-03-24(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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