微结构密集阵列精密加工与在位检测技术的研究

摘要：

针对微结构密集阵列精密加工与在位检测技术进行了研究.研究内容主要包括微结构密集阵列精密加工与在位检测流程、微结构密集阵列精密加工工艺及改进,探讨了y轴调节平台的调节方法,分析了原有调节方法的不足,并提出了相应的优化方法,即自动磁吸模芯、自动调节模芯水平斜度功能的平台.为了提升模芯水平斜度调节精度对模芯平面度进行检测,对不符合要求的需要通过精密磨削加工进行提升.重点介绍了对刀过程中宏动、微动调节不合适出现的各种对刀不当的问题,并提出了更加简便快捷的对刀工艺.

关键词：微结构密集阵列、精密加工、在位检测

所属期刊栏目：34

分类号：TH161

在线出版日期：2019-12-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：147-149