MEMS起爆器研究现状与发展趋势

摘要：

随着微纳技术的广泛应用,以MEMS技术为支撑的新一代起爆器成为含能器件领域的研究热点.MEMS起爆器可以实现大规模高密度的集成制造,并且器件输出性能一致性较好,具有微型化、集成化、高能化的特征.MEMS起爆器按结构不同,可以分为爆炸箔结构、半导体桥结构以及多孔硅结构三大类.爆炸箔起爆器主要采用电爆炸原理,结构简单,安全性能较高.半导体桥起爆器起爆电压低,应用领域广泛,可通过增加含能材料来提高器件的能量输出.多孔硅起爆器反应活性高,与由碳氢氮氧组成的传统含能药剂相比,多孔硅含能材料的环境友好性更好.通过分析与对比MEMS起爆器的结构组成、起爆方式、制作工艺以及输出能量等方面,指出MEMS起爆器结构微型化、输出高能化、起爆可控化的特征,并提出能够兼顾高能性与安全性的MEMS起爆系统为未来重要的发展方向.

关键词：MEMS起爆器、爆炸箔、半导体硅桥、含能材料、多孔硅

所属期刊栏目：57

分类号：TJ45(弹药、引信、火工品)

资助基金：中国博士后科学基金;高校基本科研业务资助项目

在线出版日期：2022-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：359-368