基于微机械电子技术的黏度测量传感器

摘要：

黏度作为流体特性的基本问题,在生物化工等诸多工程中是控制生产流程、保证安全生产、进行医学诊断及科学研究的基础性热物数据,为满足各个领域高精度与高效快捷的黏度测量需求,近年来黏度测量手段已不局限于如毛细血管法、旋转法等传统意义的宏观测量方法,基于微纳米尺度的黏度测量技术已展现出其突出的发展与应用前景.微机械电子系统(Micro-electromechanical systems,MEMS)技术的蓬勃发展促使黏度测量集成化、智能化与实时性,多样化黏度测量方法不断涌现,其中谐振式黏度测量受到颇为广泛而深入的关注,并显示了瞩目的 检测性能.首先回顾传统的黏度测量方法,然后再介绍了基于微机械电子技术的谐振式黏度测量方法,并分别总结了各自的特点.最后,对MEMS谐振式黏度测量方法的发展趋势进行了展望.

关键词：流体黏度、测量方法、微机械电子系统、谐振

所属期刊栏目：57

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金;中央高校基本科研业务费;国家重大研究计划

在线出版日期：2021-08-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：13-22