大负载高精度光栅拼接柔顺并联机构的设计方法

摘要：

由于加工工艺的限制,通常采用多块小口径光栅机械式拼接的方法来制备大尺寸光栅.为保证打靶成功,要求光栅拼接机构可以实现纳米级的运动精度.基于压电陶瓷驱动的柔顺并联机构可以达到纳米级的运动精度,但是柔性关节的引入降低了机构的承载能力.为解决柔顺并联机构中存在的“大负载”与“高精度”之间的矛盾,引入驱动与承载单元解耦的思想,基于约束设计法提出一种满足大口径光栅拼接机构大行程、大负载、高精度要求的新型光栅拼接柔顺并联机构,该机构具有刚柔混合、串并混联、三面正交、单点支撑、存在一条恰约束被动支链的特点.为实现光栅拼接机构的高精度运动,对设计的新型光栅拼接机构进行运动学分析,并搭建试验系统测试拼接机构的运动精度.试验结果表明利用所提设计方法设计的光栅拼接柔顺并联机构能满足拼接机构的任务要求.

关键词：光栅拼接、柔顺并联机构、大负载、运动学分析

所属期刊栏目：56

分类号：TH12

资助基金：国家自然科学基金51475114

在线出版日期：2020-12-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：113-121