飞秒激光直写加工柱面微透镜阵列的方法研究
柱面微透镜阵列在叠阵半导体激光器快慢轴准直、裸眼3D成像、平行加工等领域有着广泛应用.针对半导体激光器领域:随着输出功率增大,尺度缩小;用于准直的透镜单元宽度由目前500 μm朝100 μm内缩减,长度维持mm量级,基材朝石英玻璃等高强度材料发展.目前适用于单元宽度100 μm以内透镜阵列制造的方法均受限于聚合物材料,且受占空比小、效率低等缺陷影响,均难以满足工业发展需求.飞秒激光以其超快、超强的独特优势,可对所有材料实现冷加工,且加工尺度小、精度高、质量好,为石英玻璃表面透镜阵列的制造提供了选择.目前基于飞秒激光的微加工,多采用逐点法,其核心问题:效率低.本论文致力于基于飞秒激光采用一定的方式实现微透镜轮廓面的直接成形加工,满足材料要求的同时,极大地提升制造效率.主要内容如下.
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2020-07-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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