基于飞秒光频梳的正弦相位调制干涉绝对距离测量方法研究
精密测距技术是高端装备制造和工业生产中大尺寸机械零部件的测量、检测及装配的关键技术,如飞机机翼和船舶装配中的定位检测、大型精密机床的测量和装配、大尺寸工件内外径测量等.在阶梯式的结构测量中或制造现场无法铺设平直导轨的场合,常用的增量式干涉测量方法难以应用,急需大范围、高精度的绝对距离测量仪器.针对这一需求,论文提出了基于飞秒光频梳的正弦相位调制干涉绝对距离测量方法,将频率扫描干涉法和多波长干涉法相结合进行大范围、高精度的绝对距离测量,实现了测量距离至时间基准的直接溯源;设计了带监测干涉仪、按光谱波段分光的正弦相位调制干涉仪,同时解决了绝对距离测量中目标漂移的监测补偿问题以及频率混叠和偏振泄露的问题;提出了基于PGC-Arctan解调的载波相位延迟实时补偿方法,解决了由光路传播、光电探测和电路传输等引起的相位延迟问题;提出了基于正交信号实时归一化的非线性误差修正方法和基于固定相位差法的非线性误差实时评估方法,解决了PGC-Arctan解调中由于相位延迟变化、相位调制深度测量不准确和滤波器放大器的性能不理想等因素引起的相位解调非线性误差的修正和评估问题.
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2020-07-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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