单晶硅的电火花线切割过程建模与控制

摘要：

电火花线切割半导体加工过程中,工件与钼丝之间的间隙是保证工件表面质量和切割效率的关键参数.分析了单晶硅和钼丝之间的间隙与极间电流的关系,由于该间隙在钼丝切入工件后,无法实时测量,根据电流的变化来实时预估间隙的瞬时变化,从而实时调整工件进给速度以间接保证该间隙.采用系统辨识方法建立极间电流与工件进给速度的控制模型,并利用F检验法估计模型的阶次,选择遗忘因子递推最小二乘在线预估模型参数.设计最小方差自校正控制器对切割过程进行实时控制.试验结果表明所设计的控制器增强了加工系统的稳定性,在保证加工效率的前提下,工件表面有了明显提高.

关键词：电火花线切割、建模、最小方差自校正控制、单晶硅

所属期刊栏目：54

分类号：TG661

资助基金：国家自然科学基金51575442;陕西省自然科学基金2016JZ011;陕西省教育厅基金2014SZS10-Z01

在线出版日期：2019-03-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：149-156