TiN薄膜的残余应力调控及力学性能研究

摘要：

残余应力是制约物理气相沉积(Physical vapor deposition,PVD)硬质薄膜厚度的关键因素.采用多弧离子镀技术在高速钢基体上制备了厚度从3.7 μm到15.5 μm的TiN薄膜,结合曲率法和有限元法研究残余应力及结合性能随膜厚的变化规律.结果表明,随着膜厚的增加,基片弯曲程度加剧,而薄膜平均残余应力降低;膜层内残余应力的整体水平决定了界面切应力大小,薄膜结合性能随界面切应力的增加而降低.增加基体偏压、降低工作气压均导致薄膜内部残余应力的升高.当残余压应力较高时,TiN薄膜具有细小、致密的柱状晶结构,并呈现(111)择优取向,薄膜硬度及断裂韧度较高,耐磨性能良好.研究结果提示我们,通过残余应力的调控可提高硬质薄膜的力学特性.

关键词：TiN薄膜、曲率法、残余应力、结合强度、力学性能

所属期刊栏目：53

分类号：TG174(金属学与热处理)

资助基金：国家自然科学基金资助项目51371136,51471130

在线出版日期：2018-06-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：42-48