高能离子源清洗对AlCrN刀具涂层结构及性能的影响

摘要：

采用自主研发的离子源增强多弧离子镀设备,研究涂层沉积前不同清洗工艺对基材表面粗糙度以及所制备的AlCrN涂层的表面形貌、硬度、膜基结合力、摩擦磨损和切削性能的影响.研究结果表明,高能Ar+清洗可以更有效清洁基材表面.与传统弧源清洗技术相比,经高能离子源清洗后的基体表面粗糙度降低,沉积态涂层的表面粗糙度更低.相比于传统弧源清洗工艺,高能Ar+清洗可以显著提高膜基结合强度,达到48.7 N,摩擦因数和磨损率均降低,涂层刀具寿命提高了3倍.

关键词：AlCrN涂层、离子源清洗、磨损、切削

所属期刊栏目：53

分类号：TG156(金属学与热处理)

资助基金：国家自然科学基金51305002,51275095,51522502;安徽省自然科学基金1408085QE92

在线出版日期：2018-06-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：34-41