四自由度压电微夹钳的设计

摘要：

为降低微夹钳前端执行机构的复杂度,探索四自由度压电微夹钳的实现问题.通过在被设计成夹钳形状的两个压电单晶片的非黏结面上制作相互绝缘的驱动电极,且使两个非黏结面上驱动电极相互对齐的方法,设计出了可同时产生夹持方向与垂直于夹持方向位移的四自由度压电微夹钳;采用压电悬臂梁变形理论,推导出了钳指位移同钳指几何参数、驱动电压的关系,进而在对钳指进行尺寸优化的基础上,采用有限元方法分析了其静动态特性;最后,对微夹钳的静动态特性进行了测试,结果表明:当驱动电压为60 V时,左钳指、右钳指在夹持方向上的位移分别为25.7μm、26.1 μm,左、右钳指在垂直于夹持方向上的位移分别为33.5μm、32.8 μm,钳指位移具有很好的重复性;微夹钳在夹持方向和垂直于夹持方向的固有频率分别为2.35 kHz、0.62 kHz;在15V的阶跃电压作用下,微夹钳在夹持方向和垂直于夹持方向的响应时间均为0.23 s.

关键词：压电微夹钳、四自由度、结构设计、特性分析与测试

所属期刊栏目：53

分类号：TH39(泵)

资助基金：国家自然科学基金51175271;浙江省高等学校中青年学科带头人学术攀登计划pd2013091

在线出版日期：2018-06-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：165-173