柔性结构的多输入多输出运动系统辨识方法

摘要：

柔性结构的多输入多输出(Multiple input multiple output, MIMO)运动系统的辨识方法是一个具有理论研究和工程应用价值的问题。随着运动系统结构设计、控制性能等要求不断提高，过去视为刚体的 MIMO 运动系统的柔性动力学特征将越来越显著，成为限制系统性能的重要因素。在辨识试验获得频域非参数模型基础上，提出一种柔性结构的 MIMO 运动系统辨识方法，基于正交多项式的总体参数曲线拟合得到同分母的 MIMO 传递函数矩阵，利用模态叠加原理以及奇异值分解(Singular value decomposition, SVD)原理得到系统的状态空间模型。此方法被应用于光刻机工件台这一典型的带有柔性动力学特征的MIMO运动系统。获得的MIMO状态空间模型具有频域辨识模型同等的辨识精度，证明了提出的辨识方法的有效性。所获得的模型满足用于综合控制设计的要求。

关键词：系统辨识、柔性结构、MIMO系统、奇异值分解、光刻机工件台

所属期刊栏目：52

分类号：TH113;N945

资助基金：国家自然科学基金资助项目51105226。20150726收到初稿，20151217收到修改稿

在线出版日期：2016-07-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：42-49