单晶石英表面低损伤的摩擦诱导纳米加工研究
本论文主要研究石英表面低损伤的摩擦诱导纳米加工方法。首先，石英屈服前摩擦表面可直接形成纳米凸起结构，据此提出石英表面摩擦诱导直接加工方法。凸结构机械性能与基体接近，但化学稳定性降低。为进一步减少加工损伤，根据摩擦区域石英材料可被KOH溶液选择性去除的现象，提出了石英表面摩擦诱导选择性刻蚀加工方法。研究表明摩擦化学作用可显著降低摩擦诱导加工损伤，改善所加工结构的性能。文中阐明了扫描参数(载荷、扫描次数、扫描速度)和刻蚀温度对所提摩擦诱导纳米加工的影响规律。通过透射电镜观测、X射线光电子能谱分析等手段，揭示了摩擦诱导纳米加工机理。为验证所提出的摩擦诱导选择性刻蚀机理和化学作用对加工损伤的影响，分别在玻璃表面和砷化镓表面进行了摩擦诱导纳米加工研究。主要研究内容和创新点如下。
单晶、石英表面、低损伤、表面摩擦、纳米加工、加工方法、选择性刻蚀、化学作用、光电子能谱分析、结构、选择性去除、化学稳定性、机械性能、石英材料、扫描速度、扫描次数、扫描参数、摩擦表面、刻蚀温度、刻蚀机理
TP2;TS9
2016-03-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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