确定性抛光非球面光学元件残余误差的评价方法

摘要：

研究非球面光学元件确定性抛光中表面残余误差的评价方法.对两种非球面残余误差的评价方法,分别为轴向误差法和法向误差法,进行理论研究.指出非球面的残余误差理论上应使用法向误差法来评价,并提出一种基于轴向残余误差求解法向残余误差的方法,继而对二者进行比较发现两者存在一定的偏差,并且差值从非球面的中心向边缘方向逐渐增大.以气囊抛光和数控小磨头抛光为例,通过试验表明使用轴向误差法评价残余误差,进行确定性抛光引入了不同程度的加工误差,引入的加工误差的大小与非球面光学元件的口径和顶点曲率半径的比值(即“相对孔径”)成正相关,故对于相对孔径较小的非球面光学元件在确定性抛光中可使用轴向误差法替代法向误差法作为残余误差的评价方法,反之,则应使用法向误差法.

关键词：确定性抛光、非球面光学元件、残余误差、评价方法

所属期刊栏目：50

分类号：TQ171

资助基金：国家科技重大专项资助项目2013ZX04006011-206

在线出版日期：2014-05-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：169-175