微结构自由曲面的超精密单点金刚石切削技术概述

摘要：

回顾了超精密加工技术的发展,主要包括超精密加工设备的开发历程,以及超精密单点金刚石切削技术基础,并对微工程技术作一简要介绍;重点论述微结构自由曲面的微纳切削技术,包括单点金刚石车削(Single point diamond turning,SPDT),快刀伺服加工(Fast tool servo,FTS),金刚石微凿切(Diamond micro chiseling,DMC),光栅铣削等技术.指出微结构自由曲面测量领域面临的挑战和存在的问题,包括接触式测量和非接触式测量.通过几个典型微结构自由曲面的加工及测量的应用进行举例说明;最后介绍我国在超精密加工机床领域内的研制情况,展望了超精密切削技术未来发展趋势.

关键词：微结构自由曲面、超精密加工、精密测量、切削机理、机床设备

所属期刊栏目：49

分类号：TG5(金属切削加工及机床)

资助基金：香港理工大学研究委员会、香港创新科技署和广东省引进创新科研团队计划资助项目201001G0104781202

在线出版日期：2013-11-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共12页

页码：144-155