一种新型3自由度大行程微定位平台设计与分析

摘要：

为解决微定位平台大行程与高精度之间的矛盾,提出一种新型的3自由度柔性并联机构.该机构三条支链采用特殊方式与动平台相连,使整体机构结构紧凑且具有良好的力学传递性能.同时,机构采用行程大,分辨率高,便于控制的电磁驱.动器作为驱动部件,保证机构在不需要引入放大机构的前提下便可获得较大的行程和较高的分辨率.使用大行程柔性铰链代替普通的球铰,降低了加工制造难度和机构刚度模型的求解难度.采用螺旋理论分析了3-P(4S)并联机构末端运动特征,结合单元刚度矩阵法和矩阵位移法推导了3-P(4S)柔性并联机构的静刚度模型,并采用ANSYS进行了分析验证.

关键词：柔性机构、螺旋理论、刚度模型

所属期刊栏目：49

分类号：TP242(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金61128008;澳门科学技术发展基金108/2012/A3;澳门大学研究委员会MYRG203Y1-L4-FST11-LYM

在线出版日期：2013-11-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：48-54