中阶梯光栅铝膜的大压深纳米压痕试验

摘要：

为研究光栅铝膜在机械刻划深度范围内的弹塑性变形特征,通过纳米压痕仪的Berkovich压头对现有79 g/mm中阶梯光栅铝膜进行大压深连续纳米压痕试验测试.按10 s-10 s的加-卸载方式进行压深步0.5 μm、最大压深5.0 μm、每个压痕步重复6次的连续压痕试验,获得整个压深尺度范围内弹性模量、硬度、最大回弹量、等效回弹锥角和回弹系数随压深的变化规律.光栅镀铝膜层材料的弹性模量、硬度在浅表层体现出较强尺寸效应,同时在镀铬过渡层和玻璃基底综合效应的影响下出现“拐点”极值;残余压痕的最大回弹量随压深近似线性增加,但是相对压深的回弹量、等效回弹锥角和回弹系数均随压深减小,这表明光栅铝膜在机械刻划深度范围内的回弹性能受压入深度的影响较大.这对于认识现有中阶梯光栅镀铝膜层材料的力学性能并改进镀膜工艺具有重要意义.

关键词：中阶梯光栅、铝膜、纳米压痕、尺寸效应、基底效应、回弹

所属期刊栏目：48

分类号：TH142

资助基金：国家自然科学基金51075042;吉林省科技发展计划20080534;长春理工大学科技创新基金2021000422;青年科学基金2021000488

在线出版日期：2013-01-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：39-44