TiAlN/AlON纳米多层涂层的微观结构和力学性能研究

摘要：

通过磁控溅射制取一系列不同AlON厚度的TiAlN/AlON纳米多层涂层,并用X射线衍射、扫描电镜、高分辨透射电镜和纳米压痕仪分别对微观结构和力学性能进行表征和测量.研究表明:非晶态的AlON在厚度约小于1 nm时,在TiAlN模板作用下转变为晶体结构,并与TiAlN呈共格外延生长,出现超硬效应,当AlON厚度为0.7 nm时,硬度和弹性模量分别最高可达38.1 GPa和385.6 GPa.当AlON厚度超过1nm时,逐渐转变为非晶结构并且破坏了多层涂层的共格外延生长,硬度随之降低.因此利用这种机制可以制备出力学性能好、耐高温氧化性的刀具涂层,满足现代切削的需要.

关键词：TiAlN/AlON纳米多层涂层、超硬效应、非晶晶化、共格外延生长、磁控溅射

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分类号：TG115(金属学与热处理)

资助基金：上海市科学技术委员会08110511600;上海市教育委员会重点学科建设J50503

在线出版日期：2012-04-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：72-77