多级粗糙间隙内的两相微流动数值模拟

摘要：

以带沟槽抛光垫多级粗糙间隙内的固液两相微流动为研究对象,基于计算机模拟生成多级粗糙表面,利用格子Boltzmman方法(Lattice Boltzmann method,LBM)计算微观流场,对抛光液在多级粗糙问隙内的流动过程以及固体颗粒的运动轨迹进行分析.探讨将这种新的抛光液两相微流动分析方法用于平坦化机理研究的可行性,并初步研究同体颗粒在多级粗糙间隙内的运动和碰撞过程,分析固体颗粒的运动特性.研究表明,多级粗糙表面的计算机模拟生成技术结合稀疏两相流模拟可以用来分析多级粗糙间隙内抛光液流动和固体颗粒运动轨迹.通过对抛光垫多级粗糙间隙内两相微流动的研究,有助于揭示晶片表面缺陷产生的机制,并提出减少缺陷的抛光垫微结构设计及修整方案.

关键词：化学机械平坦化、粗糙表面、两相微流动

所属期刊栏目：47

分类号：TN305;O351(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金90923025;中国博士后科学基金20100470069;中央高校基本科研业务费专项资金资助项目

在线出版日期：2012-01-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：83-88