旋涡式非接触硅片夹持装置的流动计算及试验研究

摘要：

为实现硅片的非接触式夹持,减少生产过程中因夹持装置与硅片表面接触导致的产品缺陷,提出一种新的硅片夹持方法,该方法利用空气动力学原理,在半封闭的流道中诱发旋涡流,借助于旋涡中心的负压力、空气溢出的正压力和硅片自重三者之间的动态平衡,实现硅片的非接触夹持.首先对此悬浮原理进行理论分析,在理论分析的基础上设计出可实现夹持功能的双进气口真空吸盘,采用RNG k -ε湍流模型对吸盘内完全气体的正压旋转流场进行数值模拟,对吸盘吸附力进行试验研究.结果表明:利用旋涡式真空吸盘可以实现非接触式夹持过程,吸盘对硅片产生的吸附力大小与工作距离、进气压强和吸盘结构参数等密切相关.

关键词：旋涡流、非接触式夹持、硅片夹持、真空吸盘

所属期刊栏目：46

分类号：TH137

资助基金：浙江省重大科技专项2008C11069;中央高校基本科研业务费专项资金资助项目

在线出版日期：2010-11-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：189-194