光学平面镜面离子束修形中速度模式的实现

摘要：

针对光学平面镜面离子束修形工艺中,目前采用的位置加工模式额外加工时间长、精度不高的缺点,提出离子柬修形工艺中的速度加工模式,并给出速度加工模式中如何根据驻留时间计算加工中进给速度的方法.使用速度模式在自研的离子束加工机床KDIFS-500上进行了验证试验,对一块直径98 mm的微晶玻璃平面样镜进行修形,加工时间为17.5 min,样镜经过一次加工后,其面形误差的方均根值由初始的33.2 nm提高到了3.1 nm,面形收敛比高达10.7.试验结果表明,速度模式加工比位置模式加工可以缩短加工时间,提高加工精度,获得更大的面形收敛比.

关键词：光学零件加工、离子束修形、计算机控制光学表面成形、驻留时间、速度模式

所属期刊栏目：45

分类号：TH161

资助基金：国家重大基础研究和国家自然科学基金50775215

在线出版日期：2009-08-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：152-156