微热管的灌注抽真空制造技术

摘要：

微热管是高热流密度光电芯片领域广泛应用的高效热传导元件,抽真空和灌注是其性能的重要影响工序.通过分析目前微热管制造工艺中常用的抽真空灌注技术,提出灌注抽真空微热管制造技术;分析该技术的工作原理和二次除气理论,建立工质额外充液量、微热管工作死区、二次除气集气段长度等数学模型;对比分析抽真空灌注与灌注抽真空两种制造技术的特点;搭建微热管性能测试平台,对采用灌注抽真空技术制造的铜一水沟槽式微热管进行性能测试;对比研究引入额外充液量前后,灌注抽真空技术制造的微热管传热性能的差异,发现引入额外充液量后,微热管性能提高了12倍.试验结果表明灌注抽真空技术可以很好地满足微热管的制造需求.

关键词：微热管、抽真空、充液量、工作死区

所属期刊栏目：45

分类号：TN305.94;TG506(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金U0834002,50605023,50705031;广东省自然科学基金07118064,8151064101000058

在线出版日期：2010-03-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：122-127