国家同步辐射实验室的LIGA技术研究及应用

摘要：

LIGA技术是一种可以利用多种材料获得大高宽比微结构的微细加工方法.介绍了LIGA技术的原理和国家同步辐射实验室LIGA试验线站的参数.详细给出NSRL近年来在同步辐射光刻、微电铸和微塑铸等LIGA技术方面的研究进展,同时给出其在微惯性器件和微流体器件等LIGA应用方面的研究进展.分析LIGA技术研究及应用的发展现状以及所遇到的困难,结合同步辐射光刻的特点,提出LIGA应用的一些展望.

关键词：LIGA技术、微塑铸、微流体器件

所属期刊栏目：44

分类号：U461.91(汽车工程)

资助基金：国家自然科学基金资助项目10375058

在线出版日期：2009-03-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：47-52