亚纳米精度长度溯源计量型动态模式原子力显微镜

摘要：

通过与长度溯源三轴激光干涉仪测量系统结合,设计开发计量型动态模式原子力显微镜(AFM).此AFM系统中,三轴激光干涉仪系统用于实时测量AFM测头与试样的相对位移.激光干涉仪系统的x,y,z测量轴正交于AFM探针顶端附近的一点,基本可以避免系统的阿贝误差,使AFM具有极高的测量精度.除此之外,扫描过程中三轴激光干涉仪系统还用于工作台x,y方向位移的反馈控制,完全克服AFM中压电器件的缺陷对水平尺寸测量的影响.分析表明,在对纳米标准栅的平均栅距测量中,AFM系统达到亚纳米的测量精度.

关键词：长度溯源、激光干涉仪、动态模式原子力显微镜、纳米计量

所属期刊栏目：44

分类号：TH71;TH89(仪器、仪表)

资助基金：日本新能源和产业技术开发组织资助项目P02045;天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室开放基金

在线出版日期：2008-05-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：195-199