基于计量学的线边缘粗糙度定义

摘要：

对目前线边缘粗糙度(Line edge roughness,LER)的研究进行了分类,区分线宽变化率、线的边缘粗糙度和侧墙(边缘)粗糙度的物理本质.重新给出一个LER定义,定义LER是由加工工艺和材料本身结构引起的刻线侧墙的表面形貌微观不规则程度,并分析给出定义的合理性.给出该定义和ITRS定义间的换算关系.结合刻线的加工过程主要发生在刻线的边缘表面,且该加工过程发生于深纳米尺度,给出一种基于原子尺度的LER计量模型,在该模型中分离了材料本质粗糙度.

关键词：纳米计量、临界尺寸、线边缘粗糙度、材料本质粗糙度、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)

所属期刊栏目：43

分类号：TG8(公差与技术测量及机械量仪)

资助基金：教育部留学回国人员科研启动基金HIT.2002.28;哈尔滨师范大学校科研和教改项目HIT.2002.28

在线出版日期：2007-03-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：214-218