超精密加工现状综述

摘要：

超精密加工是获得高形状精度、表面精度和表面完整性的必要手段.精密光学、机械、电子系统中所用的先进陶瓷或光学玻璃元件通常需要非常高的形状精度和表面精度(如0.1 nm级表面粗糙度)及较小的加工变质层.掌握超精密加工过程中材料去除规律和损伤层特性对提高加工的稳定性与经济性十分重要.对超精密加工中的超精密切削、超精密磨削和超精密研磨抛光技术进行综述,重点介绍各种典型加工方法及其材料去除机理.从加工精度和加工效率角度对上述几类超精密加工方法进行比较,介绍以实现高效精密加工为目的的半固着磨粒加工技术.对超精密加工的发展趋势进行预测.

关键词：超精密加工、磨粒加工、半固着磨粒加工

所属期刊栏目：43

分类号：F4(工业经济)

资助基金：国家自然科学基金50535040;浙江省自然科学基金Y105610

在线出版日期：2007-03-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共14页

页码：35-48