化爆材料瞬态切削温度的NiCr/NiSi薄膜热电偶温度传感器的研制

摘要：

针对化爆材料的切削特点,研制出一种集切削和测温功能于一体的NiCr/NiSi薄膜热电偶快速响应温度传感器.用多弧离子镀将NiCr/NiSi热电偶薄膜直接镀于高速钢刀头内.薄膜热电偶电极与高速钢之间采用最先进的多层镀膜法绝缘,即用微波ECR等离子体源增强射频反应非平衡磁控溅射技术首次成功在W18Cr4V高速钢基底上沉积绝缘性能良好的SiO2膜.对研制的薄膜热电偶温度传感器进行了静态和动态标定,结果表明传感器在O～600℃测温范围内具有很好的线性和热稳定性,而且响应快,时间常数小于0.8 ms.热电偶薄膜与绝缘膜、绝缘膜与基体之间有足够的附着强度.该温度传感器已安装在现场使用,为国防工业部门的高效、安全生产提供了有力的保障.

关键词：薄膜热电偶、切削温度、磁控溅射、离子镀、化爆材料

所属期刊栏目：42

分类号：TH81

资助基金：中国工程物理研究院重大基金2001Z0301

在线出版日期：2006-04-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：206-211