纳米尺度表面形貌测量的双图像拼接法

摘要：

与传统探针相比,使用碳纳米管探针能探测到更精细的样本表面形貌,为减小针尖形貌和尺寸造成的测量误差提供了一个良好途径.然而,在普通探针上黏贴碳纳米管时总是难以避免地出现一个倾斜角度,它使得对刻线样本进行测量时只能获得单侧较精确的边墙数据,而另外一侧失真较大.提出一种双图像拼接方法,样本在经过一次测量以后被旋转180°,然后重新测量,分别保留两次测量中较好的一侧边墙测量数据,并把它们拼接成一幅更接近真实样本的图像.采用基于ICP算法的图像配准技术匹配两次测量图像,消除两次测量的位置偏差,并应用双线性插值和最小二乘拟合方法对配准后的图像进行处理,计算得到更准确的线宽和边墙角等单刻线样本的特征尺寸值.

关键词：原子力显微镜、碳纳米管、双图像拼接法、图像配准

所属期刊栏目：41

分类号：TB92(计量学)

资助基金：中国留学生基金委员会资助项目;美国国家标准与技术研究院资助项目NIST

在线出版日期：2005-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：166-170,174