用高分辨率快速成形系统制作细微结构

摘要：

针对制作参数对制作分辨率的影响,利用高分辨率激光快速成形系统进行了试验研究.研究表明,制作时激光功率与光束扫描速度的比值越小,则制作的单壁结构厚度越小.采用准确的线宽补偿、较小的激光功率及具有较高临界曝光量的光敏树脂,可制作出具有较小槽宽尺寸的细微槽状结构.制作出了壁厚为0.011 mm的单壁结构及槽宽为0.034 mm的槽状结构.试验结果表明,该快速成形系统有很高的制作分辨率,具有制作扫描平面内细微结构的能力.

关键词：高分辨率、光固化、制作、细微结构、制作参数

所属期刊栏目：41

分类号：TG665

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2002AA2Z4081,2001AA242101;全国高等学校优秀博士学位论文作者专项基金200026

在线出版日期：2005-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：82-85