表面轮廓测定用扫描探针测头研究

摘要：

利用压电聚偏氟乙烯(PVDF,Polyvinilidene fluoride)薄膜和压电微音叉(Micro-fork),分别与钨探针结合,构成了三种新型的表面轮廓扫描测头.该新型测头与x-y压电工作台结合,采用与TM-AFM(Tapping mode atomicforce microscope)相同的工作原理,构成了扫描探针显微镜.分别介绍了这些测头的构成及特点,给出了所构成测量系统所获得的试验结果,证明了这几种新型扫描测头的有效性.

关键词：聚偏氟乙烯、微音叉、扫描探针、测头、扫描探针显微镜

所属期刊栏目：41

分类号：TH71;TH89(仪器、仪表)

资助基金：安徽省现代测试与质量控制重点实验室基金

在线出版日期：2005-10-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：213-217