基于差动莫尔信号的超高精度对正系统

摘要：

为实现压印光刻中套刻对正超高精度的要求,采用基于斜纹结构光栅差动莫尔信号对正技术.利用光电接收器件阵列组合接收光栅产生的莫尔条纹信号,得到x,y方向的对正偏差信号.通过对基本莫尔信号和差动莫尔信号的分析对比,证明了差动莫尔信号具有更好的灵敏度,并在差动模式的基础上采用Chebyshev数字滤波器进行去噪,最终实现±20 nm重复对正精度,达到100nm压印光刻的对正精度的要求.

关键词：压印光刻、结构光栅、差动莫尔信号、超高精度对正

所属期刊栏目：41

分类号：TH74;TN247(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金50275118;国家高技术研究发展计划863计划2002AA420050;国家重点基础研究发展计划973计划2003CB716203

在线出版日期：2005-06-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：75-78