大长径比微细轴的车削工艺研究

摘要：

微纳米级器件的加工是MEMS系统的开发、应用的应用的关键技术之一。通过切削试验，设计出能加工最小直径为7μm的微细轴的金刚石车刀,其主要参数为:主偏角Kr=93°,副偏角K'r=30°,前角γ0=0°,后角α0=5°.然后以加工直径20 μm的轴为例,分析了进给量、背吃刀量以及主轴转速对微细轴成形和表面粗糙度的影响.研究结果表明,在微细轴的加工中,切削用量不仅对工作表面质量产生影响,而且关系到是否能够车削成形.在可成形范围内,进给量与表面粗糙度值成正比,具有显著的影响;背吃刀量、主轴转速对表面粗糙度的影响较小.最后试制了不同加工参数条件下的极限实例产品.

关键词：微细轴加工、精密切削、MEMS、微纳米器件

所属期刊栏目：41

分类号：TH161

资助基金：国家自然科学基金50275100;国家高技术研究发展计划863计划2001AA411150

在线出版日期：2005-04-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：137-141