AlN/VN纳米多层膜的共格生长与超硬效应

摘要：

研究了亚稳相立方AlN(c-AlN)在AlN/VN纳米多层膜中的形成条件以及c-AlN对纳米多层膜力学性能的影响.一系列不同调制周期的AlN/VN多层膜采用反应磁控溅射法制备,多层膜的微结构采用小角度X射线衍射和高分辨电子显微镜表征,利用微力学探针测量了多层膜的力学性能.结果表明:亚稳的c-AlN因VN的"模板"作用生成于小调制周期的纳米多层膜中,并与VN形成共格外延生长的超晶格柱状晶,从而使多层膜产生硬度和弹性模量升高的超硬效应.随调制周期的增大,c-AlN转变为稳定的六方结构(h-AlN),使多层膜形成纳米晶的"砖墙"型结构.此时多层膜的硬度和弹性模量与混合法则所得值相当.AlN/VN纳米多层膜在小调制周期下产生的超硬效应与c-AlN形成带来的性质变化以及c-AlN与VN形成共格结构所产生的界面交变应变场有关.

关键词：AlN/VN纳米多层膜、亚稳相、立方氮化铝、超硬效应

所属期刊栏目：40

分类号：O484;TG115(固体物理学)

资助基金：上海市纳米科技专项基金0352nm084

在线出版日期：2005-03-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：56-59