基于Krylov子空间法的MEMS降阶建模与仿真

摘要：

获得系统的宏模型是MEMS系统级建模与仿真的关键.将Krylov子空间理论与方法应用于MEMS降阶建模,介绍了Krylov子空间的理论基础,针对MEMS中常见的静电-结构耦合系统,建立了有限元动力学方程,运用修正Arnoldi算法得到降阶模型.算例表明,经大幅度降阶得到的模型真实地反映了系统地运动状态,大大缩短了求解时间,降低了计算复杂度.

关键词：MEMS、子空间、宏模型、耦合、有限元

所属期刊栏目：40

分类号：TN402(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：国家自然科学基金50275127

在线出版日期：2004-08-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：58-61